产品介绍：

十字叠层高精度线轨运动台，满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等制造行业。

产品特性：

工作台采用十字叠层线轨结构形式，满足XY两个自由度的运动；

亚微米级重复定位精度；

最大速度1000mm/s，最大加速度1g；

单轴直线度可达±1.5μm，运动平面度可达±2.0μm；

X、Y两轴正交性可达±2.0μm；

直线电机驱动，光栅尺编码反馈。